基本信息
摘要：本发明公开了一种两轴梳齿式微加速度计，所述加速度计由从下到上依次设置的衬底层、键合层、第一结构层、第一绝缘层、基底层、第二绝缘层、第二结构层七层结构构成；两个梳齿式微加速度计，分别位于第一结构层和第二结构层，一个加速度计结构相对于另一个加速度计结构旋转90°；位于第二结构层的锚点通过第二绝缘层跟基底层连接，基底层再通过第一绝缘层跟第一结构层上的锚点连接，第一结构层的锚点再通过键合层跟衬底层连接；电极分布在第二结构层上和衬底层上。本发明两轴梳齿式微加速度计由两个梳齿式加速度计构成，并分别位于两层，占用面积小，体积小，能够降低成本；另外不需要装配，稳定性好，测量精度高。
摘要附图：
