基本信息

• 发明名称： 【发明专利】 一种基于热对流原理的微机械加速度传感器
• 申请日： 1970-08-22
• 申请号/专利号： CN201710435499.2
• 专利权人： 刘晓阳;叶剑飞;吴薇;李丽丽;汶飞;王路文;王高峰
• 申请人： 杭州电子科技大学
• 分类号：
• 发明人/设计人： 刘晓阳;叶剑飞;吴薇;李丽丽;汶飞;王路文;王高峰
• 公开日/公告日： 1970.08.23
• 优先权号：
• 代理机构：
• 代理人：
• PCT申请号： 无
• PCT申请日期： 无
• PCT进入国家阶段日： 无
• 生物宝藏信息： 无
• 审查员： 无

摘要：本发明涉及一种基于热对流原理的微机械加速度传感器的设计及其制作方法。本发明所涉及的热对流式微机械加速度传感器没有在硅片上开孔形成腔结构，而是通过BCB键合胶把玻璃盖板和硅片键合来形成密闭空腔，并且在所述的第一基底上制作了一层聚酰亚胺膜来防止热量散失，保证热气团更好地发挥作用和降低功耗，另外聚酰亚胺膜也可以防止铂电极漏电，这种设计使工艺过程变得简单而且制作出来的传感器结构更稳定，可靠性高，性能也更好。

摘要附图：