基本信息
摘要：本发明涉及一种基于热流能同时测量角速度和的加速度的陀螺仪，具有一个用于测量三轴角速度的角速度计，一个用于测量二轴的加速度的加速度计，一个压电泵，所述角速度计和加速度计的硅芯片四周设有用于气体流动的通道，压电泵置于硅泵槽中，压电泵的上、下面设有TBN光刻胶层，用于密封压电泵中的氩气。本发明与现有的气体陀螺仪相比，增加了用于测量加速度的气体加速度传感器，从而可以在测量各个方向的角速度的同时可以测量施加的加速度，扩大了测量范围，同时，可以方便的与集成电路集成，并降低了成本。
摘要附图：
