基本信息

• 发明名称： 【实用新型】 一种微机电压力传感器以及电子设备
• 申请日： 1970-08-23
• 申请号/专利号： CN201920064197.3
• 专利权人： E·杜奇;L·巴尔多
• 申请人： 意法半导体股份有限公司
• 分类号： B81C1/00
• 发明人/设计人： E·杜奇;L·巴尔多
• 公开日/公告日： 1970.08.23
• 优先权号： B81C1/00
• 代理机构：
• 代理人：
• PCT申请号： 无
• PCT申请日期： 无
• PCT进入国家阶段日： 无
• 生物宝藏信息： 无
• 审查员： 无

摘要：本公开涉及一种微机电压力传感器以及电子设备。微机电压力传感器包括具有前表面的半导体材料的单片主体。感测结构被集成在单片主体中，并且具有在前表面处被完全地包含在单片主体内的埋入腔。感测膜被悬置在埋入腔上方，并且由单片主体的表面部分形成。压阻类型的感测元件被布置在感测膜中，以检测由于压力引起的感测膜的变形。压力传感器进一步被设置有被集成在单片主体内的自测试结构，以引起感测膜的测试变形的应用，以便验证感测结构的正确操作。

摘要附图：