基本信息
摘要：一种微型差动式全石英谐振加速度计，包括外围的支撑框架,支撑框架与其内部的质量块通过敏感方向设置的柔性支撑弹簧连接，在质量块的敏感方向中轴线部位，开有一对完全贯通的空槽，石英振梁位于空槽内，石英振梁两端分别与支撑框架和质量块相连接，且左右对称，石英振梁上表面布有电极，电极位于质量块的敏感方向中轴线上，通电之后电极能够按照预定模态振动，通过质量块感应到加速度的输入，然后通过两个石英振梁的差动变化频率，由频率检测电路把加速度转换为电信号，完成对加速度的感应与测量，本发明具有数字信号输出、分辨率高和抗干扰性能优良等优点。
摘要附图：
