基本信息
摘要：本发明公开了一种梳齿电容式单轴加速度计，包括玻璃衬底、固定极板、敏感质量和止挡结构，所述玻璃衬底的上表面固定安装有固定极板，所述固定极板上挖设有三个呈前后间隔的凹槽，所述固定极板上位于前后两侧的凹槽内各固定安装有一组第一弹性粱单元，所述第一弹性粱单元包括两根左右相互间隔的第一U型梁，所述固定极板上位于中间的凹槽安装固定有第二弹性梁单元，所述第二弹性梁单元包括两根左右相互间隔的第二U型梁，所述第一弹性粱单元、第二弹性梁单元的上方固定安装有敏感质量，所述玻璃衬底焊接固定安装有止挡结构，所述敏感质量上挖设有与止挡结构相匹配的插槽；本装置结构简单，便于增加装置使用效果，提高使用寿命。
摘要附图：
