基本信息
摘要：一种微电子加速度传感器，在玻璃衬底的上方设置一与玻璃衬底存有间距并开有通孔的单晶硅质量块，设置四条悬浮折叠梁，其一端分别联接悬浮质量块左、右的四个角，另一端分别连接左、右四个对称布置的锚区，设置左、右四个对称布置的悬浮感温梁，每个感温梁均为一条粗细不同的折弯梁，首、尾端分别连接各自的锚区，在悬浮质量块左右两侧的中点各联接一根朝向相反、水平设置的悬浮锁头，在锁头的上下两侧各设有一个与之相配的悬浮锁存钩，各锁存钩与各自的锚区连接，在悬浮质量块通孔下方对位的玻璃衬底上表面设有金薄膜层，所有的锚区均生根于玻璃衬底上表面。制备工艺采用采用Au—Au低温键合实现单晶硅与玻璃衬底的键合并实现电的转移互连。
摘要附图：
