基本信息
摘要：本发明公开了一种用于微波炉的绝对湿度传感器。绝对湿度传感器包括硅基底,形成在基底上用于检测暴露于空气的湿度且随湿度量具有变化电阻值的湿度检测元件,形成在半导体上用于补偿湿度检测元件电阻值的温度补偿元件,和覆盖在温度补偿元件上用于隔离暴露于空气的湿度以便使温度补偿元件的电阻值不发生变化的钝化膜。湿度检测元件和温度补偿元件包括形成在基底上的绝缘膜,形成在绝缘膜上用于吸收湿气的湿度检测膜,和形成在湿度检测膜之下或湿度检测膜之上/之下的电极。用吸湿度大于陶瓷基湿度检测材料的聚酰亚胺薄膜作为湿度检测材料,用硅片作为基底。这样,便能生产出对湿度敏感的绝对湿度传感器而且同时可利用硅加工技术将传感器集成从而有利于批量生产。
摘要附图：
