基本信息

• 发明名称： 【发明专利】 一种数字式差动型微加速度计
• 申请日： 1970-08-22
• 申请号/专利号： CN201610944688.8
• 专利权人： 孙登强;李村;李波;赵建华;赵玉龙
• 申请人： 西安交通大学
• 分类号：
• 发明人/设计人： 孙登强;李村;李波;赵建华;赵玉龙
• 公开日/公告日： 1970.08.22
• 优先权号：
• 代理机构：
• 代理人：
• PCT申请号： 无
• PCT申请日期： 无
• PCT进入国家阶段日： 无
• 生物宝藏信息： 无
• 审查员： 无

摘要：一种数字式差动型微加速度计芯片，包括具有质量块‑弹簧功能的硅基底和两根石英双端固定音叉，硅基底由质量块和支撑质量块的两根悬臂梁组成，质量块、悬臂梁组成质量块‑弹簧系统指的是沿着微加速度计芯片敏感方向，悬臂梁具有弹性特性，悬臂梁沿着质量块的对角线方向；石英双端固定音叉沿着质量块的另外一条对角线方向，两个结构相同的石英双端固定音叉处于差动方式布置，本发明能够消除温度对传感器的影响，提高传感器的非线性度，具有响应速度快、精度高等优点。

摘要附图：