基本信息
摘要：本发明公开了一种硅微谐振式加速度计及其自测试方法，属于传感器技术领域。该硅微谐振式加速度计包括：谐振器、质量块和自测试结构。自测试结构包括至少一个电极对，电极对包括第一电极和第二电极，第一电极与质量块连接，能带动质量块移动，第二电极固定在加速度计的衬底上。自测试结构用于在受到电激励时，生成沿第一方向的静电力，带动质量块产生微位移，使得谐振器输出的谐振频率发生变化，以便根据谐振器的差频以及静电力得到加速度计的标度因数值，并通过比较不同电激励下得到的标度因数值，判断加速度计是否处于正常工作状态。相比于现有技术，有利于降低硅微谐振式加速度计测试的操作复杂程度和测试成本。
摘要附图：
