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基本信息

摘要:容性加速度计及其制造方法。该加速度计包括两个有固定侧面电极4,6′的侧面电极构件15和装有中心电极17的中心电极构件16,构件16包括一平行于构件15的平面主体件3其中保留在15之间的部分加工成靠近4,6′处有一个贯穿主件3呈U形且描成悬臂状电极17的槽,电极17平行于主件3而使17的端部1比所述3的部分细,以在电极4,6′与17之间形成间隙7,且与3形成整体的构件16的杆件2实质上比端部1细,以使17具有挠曲性。本发明的传感器结构易于成批生产。

摘要附图: