基本信息
摘要：本发明公开了一种抗高过载的梳齿电容式单轴加速度计，包括玻璃衬底、固定极板、敏感质量、止挡结构、四个U形梁、两个M形梁、若干梳齿式极板。敏感质量、玻璃衬底和固定极板构成检测电容，同时U形梁、M形梁随着惯性力的作用频繁发生形变，带动敏感质量做出相应的位移响应，得到信号输出。通过惯性力公式和刚度公式，可求得与加速度计所连物体的加速度。本发明创新点在于：通过合理的止档结构设计，限制加速度计机械结构平面内两个方向的位移，防止机械结构在过大的冲击作用下发生破坏，并且通过在中间位置增加一对M形梁设计进一步提高刚度，增加机械结构的抗冲击能力，从而实现了加速度计在三个方向上都具有一定的抗高过载能力。
摘要附图：
