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基本信息

摘要:本发明公开了一种基于约瑟夫逊效应检测的硅压阻式加速度计,包括:键合基板、支撑框体、约瑟夫逊器件、弹性梁、质量块和压敏电阻。本发明的有益效果在于将约瑟夫逊器件与硅压阻集成,可将加速度信号转换为补偿严格一致的电流台阶信号,结构合理,灵敏度高,数字化输出,检测电路简单,使用方便、可靠性好、适合微型化。可有效解决高过载型传感器存在的低灵敏度、低有效分辨率、高检测阈值下限等难题。

摘要附图: