基本信息
摘要：本发明公开了一种数字闭环加速度计片上在线自检测系统及方法，所述在线自检测系统包括MEMS敏感结构、电荷放大器、环路补偿器、Sigma‑Delta调制器、数字自检测激励源、数字运算单元、数字信号处理模块，其中：所述MEMS敏感结构由上电极、中间质量块、下电极构成；所述MEMS敏感结构、电荷放大器、环路补偿器、Sigma‑Delta调制器构成闭环负反馈伺服系统；所述闭环负反馈伺服系统与数字自检测激励源、数字运算单元、数字信号处理模块构成数字闭环自检测电路。本发明采用电学静电力激励MEMS敏感结构，可以实现加速度计谐波失真的自检测，避免了传统检测方式中对复杂仪器设备的依赖并能实现在线测量。
摘要附图：
