基本信息
摘要：一种高灵敏度谐振加速度计芯片，是一种重要的力学量传感器，在汽车、航空航天、地震检测、武器装备等领域都有广泛的应用。该芯片包括基片、质量块、音叉、力学放大系统、驱动电极及敏感电极。所述的质量块为回形，在其中心为两个平行音叉，每一音叉的中部两侧设有相互并列的梳状驱动电极和敏感电极。所述的力学放大系统由多极省力杠杆结构串联组成；所述的梳状驱动电极、敏感电极及基片均由引线与焊接电极连接。本发明的质量块的利用率达到100％，体积相对较小，可以使由加速度引起的惯性力进行高效率放大，结构稳定性好，有较大的抗冲击能力。材料不均匀和环境温度对器件影响较小。开拓了这类加速度计在高精度加速度计领域中的应用。
摘要附图：
