基本信息

• 发明名称： 【发明专利】 加速度传感器
• 申请日： 1970-08-21
• 申请号/专利号： CN200510084468.4
• 专利权人： 宫下勉;山田澄夫;永田宪治;爱泽尚德;田中浩;町田敦司;石川宽
• 申请人： 富士通媒体部品株式会社;富士通株式会社
• 分类号： H01L29/84
• 发明人/设计人： 宫下勉;山田澄夫;永田宪治;爱泽尚德;田中浩;町田敦司;石川宽
• 公开日/公告日： 1970.08.21
• 优先权号： H01L29/84
• 代理机构：
• 代理人：
• PCT申请号： 无
• PCT申请日期： 无
• PCT进入国家阶段日： 无
• 生物宝藏信息： 无
• 审查员： 无

摘要：提供了一种加速度传感器，其抑制了偏移电压的波动并且具有改善的温度特性。该加速度传感器包括：形成在半导体基板中央的重物；形成在重物周边的框架；连接重物和框架的梁或隔膜；检测元件，其形成在梁或隔膜上并且检测与施加的加速度对应的梁或隔膜的弯曲；以及引线，形成在梁或隔膜上并且将所述检测元件的检测输出引导到设置在框架上的焊盘，其中，在梁或隔膜上形成包括与形成在梁或隔膜上的配线引线独立的多个点状图案的伪引线。

摘要附图：