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基本信息
摘要:本发明属于MEMS惯性器件领域,具体涉及一种低功耗数字加速度计接口电路系统。本发明包括驱动信号产生部、电荷积分器、前置补偿器、采样保持电路、三阶ΣΔ调制器和1位静电力反馈。四个部分可以不需要工作在高频下,而只需要工作于较低频率即可,可以大大降低对机械电容和寄生电容充放电功耗。三阶电学ΣΔ调制器中的运算放大器用反相器来替代,由于反相器可以在极低的静态电流下提供很宽的单位增益带宽,所以尽管105部具有很高的工作频率,但其功耗却大大降低了。
摘要附图: