基本信息
摘要：本发明公开了一种谐振式石墨烯双轴加速度计，包括基底、敏感质量板、石墨烯谐振梁一、绝缘层对一、激励电极对一、石墨烯谐振梁二、绝缘层对二、激励电极对二、石墨烯谐振梁三、绝缘层对三、激励电极对三、石墨烯谐振梁四、绝缘层对四、激励电极对四和真空罩。本发明利用复合敏感加速度方式实现对加速度的测量。本发明中仅利用一块具有不同质量块的敏感质量板即可实现对作用于不同轴向、不同范围加速度的测量，并对各轴所施加加速度的检测相互独立，消除双轴加速度同时作用时的耦合影响，提高加速度测量准确度与可靠性，实现双轴超高灵敏度加速度的测量。
摘要附图：
