基本信息
摘要：一种基于同步谐振频率检测的MEMS加速度计，包括质量块、放大梁、检测元件、同步元件和支撑梁，质量块呈四边形，质量块的两侧通过放大梁和检测元件、同步元件连接，质量块的另两侧连接有四根支撑梁，支撑梁靠自身的锚点固定于单晶硅基底，质量块自身悬空，仅由放大梁和支撑梁支撑；谐振元件和同步元件分别被置于具有自动增益控制的第一、第二振荡电路中，在相应的电路参数下，谐振元件和同步元件分别与振荡电路形成自激振荡，本发明通过加速度计标度因数的放大和检测电路本底噪声的降低，实现面内加速度的超高精度测量。
摘要附图：
