基本信息
摘要：本实用新型提供一种微机械陀螺仪的晶圆测试系统，所述晶圆测试系统包括：电源模块，用于输出电源信号；信号发生模块，用于产生扫频信号；信号传输模块，与所述电源模块、所述信号发生模块及待测微机械陀螺仪电连接，以将所述扫频信号和所述电源信号作为输入信号传输至所述待测微机械陀螺仪的驱动端，并接收所述待测微机械陀螺仪的感应端输出的输出信号；模数转换模块，与所述信号传输模块电连接，以将所述输出信号转化为数字化输出信号；信号处理模块，与所述模数转换模块电连接，接收所述数字化输出信号，并输出所述待测微机械陀螺仪的性能参数信号。本实用新型不需机械转动平台，具有性价比高、简单、易用的优点。
摘要附图：
