基本信息
摘要：本发明提供减少了传感器元件的污损的热式流量计。该热式流量计具有：传感器元件，其在形成于基板的隔膜上设置有薄膜部，并具备形成于上述薄膜部的发热电阻体；用于设置上述传感器元件的支承部件；和副通路，在其中配置上述支承部件的一部分，将在吸气管路流动的吸入气体的一部分取入，该热式流量计具有引导部件，在令沿在上述副通路内流动的空气流从上述薄膜部上通过的直线为L时，该引导部件设置于上述L上的上述支承部件或上述传感器元件，使沿上述支承部件或上述传感器元件的表面与空气流一起飞来的微小颗粒流向远离上述L的方向。
摘要附图：
