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基本信息

摘要:本发明提供一种热式流量计,在隔膜部(2)的表面形成发热电阻体(6),在发热电阻体(6)的两侧(空气流上下游侧)形成温度差传感器(9~12)。温度传感器(9、10)配置在发热电阻体(6)的上游侧,温度差传感器(11、12)配置在发热电阻体(6)的下游侧,在温度差传感器(9~12)的两侧形成加热温度传感器(8a、8b)。加热温度传感器(8a、8b)的温度被控制为比空气流的温度高固定温度,因此即使在传感器元件(1)付着有污损物的情况下,加热温度传感器(8a、8b)的温度也保持固定,检测流量的温度差传感器(10、12)位于加热温度传感器(8a、8b)的内侧,因此温度变化变小,抑制特性变动,能够长期地将测量精度维持为较高。从而,能够以简单的结构实现抑制污损物的付着所引起的特性变动,能长期地将测量精度维持为较高的热式流量计。

摘要附图: