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基本信息
摘要:本发明公开了一种具有高输出稳定性的压阻式三轴加速度计,包括SOI基片、上玻璃盖板和下玻璃盖板,中心质量块通过八个矩形梁支撑在回形边框上。在梁上的每个压敏电阻四周都通过离子注入磷元素进行重掺杂,通过一个焊盘接入一个不低于惠斯通电桥供电电压的电势,避免了压敏电阻条的漏电现象,实现了压阻式加速度计的输出的稳定性。
摘要附图: