基本信息

• 发明名称： 【发明专利】 高输出稳定性的压阻式三轴加速度计
• 申请日： 1970-08-22
• 申请号/专利号： CN201711113324.6
• 专利权人： 何常德;宋金龙;张文栋;薛晨阳
• 申请人： 中北大学
• 分类号： G01P15/18
• 发明人/设计人： 何常德;宋金龙;张文栋;薛晨阳
• 公开日/公告日： 1970.08.22
• 优先权号： G01P15/18
• 代理机构：
• 代理人：
• PCT申请号： 无
• PCT申请日期： 无
• PCT进入国家阶段日： 无
• 生物宝藏信息： 无
• 审查员： 无

摘要：本发明公开了一种具有高输出稳定性的压阻式三轴加速度计，包括SOI基片、上玻璃盖板和下玻璃盖板，中心质量块通过八个矩形梁支撑在回形边框上。在梁上的每个压敏电阻四周都通过离子注入磷元素进行重掺杂，通过一个焊盘接入一个不低于惠斯通电桥供电电压的电势，避免了压敏电阻条的漏电现象，实现了压阻式加速度计的输出的稳定性。

摘要附图：