基本信息
摘要：基于SOI的三轴电容式微加速度计包括SOI基片、带阻尼孔的单一质量块、蛇形弹性梁、固定梳齿、与质量块相连的可动梳齿。使用SOI表面加工技术，使制造工艺能与普通的集成电路工艺兼容，降低成本。结构为中心对称图形，通过单一质量块感知三个正交方向的加速度，极大缩小了器件结构，增大了器件的集成度。通过Z轴方向上不等高垂直梳齿电极的设计，Z轴方向的线性度提高了至少10倍，同时工艺简单。每个轴向都由4组梳齿电极构成差分检测电容，消除交叉干扰并大大提高了灵敏度。4对中心对称的蛇形支撑梁，使加速度计有很大的量程。
摘要附图：
