基本信息

• 发明名称： 【发明专利】 半导体加速度传感器装置及其制造方法
• 申请日： 1970-08-21
• 申请号/专利号： CN200610068046.2
• 专利权人： 猪野好彦
• 申请人： 冲电气工业株式会社
• 分类号：
• 发明人/设计人： 猪野好彦
• 公开日/公告日： 1970.08.21
• 优先权号：
• 代理机构：
• 代理人：
• PCT申请号： 无
• PCT申请日期： 无
• PCT进入国家阶段日： 无
• 生物宝藏信息： 无
• 审查员： 无

摘要：提供一种半导体加速度传感器装置及其制造方法，可以抑制因周围温度变化在加速度传感器芯片中产生的畸变而使半导体加速度传感器装置的检测精度提高。该半导体加速度传感器装置包括：将加速度传感器芯片容纳在内部的中空的封装，在封装的内部底面的预定区域内形成有凹部；填充凹部的具有粘接性的低弹性构件；以及配置在低弹性构件上的加速度传感器芯片，低弹性构件与加速度传感器芯片的粘接面比底面高。

摘要附图：