基本信息

• 发明名称： 【发明专利】 湿法腐蚀制造微机械电容式加速度传感器及其结构
• 申请日： 1970-08-21
• 申请号/专利号： CN02111345.9
• 专利权人： 朱建军;熊斌;王跃林;车录锋
• 申请人： 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
• 分类号：
• 发明人/设计人： 朱建军;熊斌;王跃林;车录锋
• 公开日/公告日： 1970.08.21
• 优先权号：
• 代理机构：
• 代理人：
• PCT申请号： 无
• PCT申请日期： 无
• PCT进入国家阶段日： 无
• 生物宝藏信息： 无
• 审查员： 无

摘要：本发明涉及一种湿法制造微机械电容式加速度传感器及其结构，属于微电子机械系统领域。其特征在于，最为关键的是利用补偿条结构牺牲方法和(110)单晶硅在各向异性腐蚀液中选择性腐蚀特性，采用硅各向异性湿法腐蚀在(110)单晶硅上制造出所需要的电容式加速度传感器结构，电容加速度传感器可动电极和固定电极同时形成在(110)单晶硅上，电容极板间隙为3－15微米。电容的平行电极必须严格对准(111)晶向。本发明提供的方法简化了微机械电容式加速度传感器的制造工艺，提高了电容式加速度传感器的成品率，而且也使制造出来的加速度传感器具有高的灵敏度和输出稳定性。

摘要附图：