基本信息
摘要：本发明涉及一种梳齿电容式Z轴加速度计及其制备方法，所述梳齿电容式Z轴加速度计包括玻璃衬底，可动电极，固定电极，支撑梁和锚点，所述两固定电极的一端分别连接在所述玻璃衬底上，所述可动电极不等高梳齿插设在两侧的所述固定电极之间，形成两组敏感电容，所述可动电极的两端分别连接一所述支撑梁，所述两支撑梁分别通过一所述锚点连接在所述玻璃衬底上，所述可动电极以所述支撑梁为轴，其两侧具有质量差。本发明的制备方法可以采用常规MEMS工艺设备，实现大批量制造，且工艺过程简单，与水平轴加速度计工艺兼容，可用于实现单芯片的三轴加速度计。
摘要附图：
