基本信息

• 发明名称： 【发明专利】 具有Z轴锚跟踪的MEMS加速度计
• 申请日： 1970-08-22
• 申请号/专利号： CN201580054004.0
• 专利权人： 张欣
• 申请人： 美国亚德诺半导体公司
• 分类号：
• 发明人/设计人： 张欣
• 公开日/公告日： 1970.08.22
• 优先权号：
• 代理机构：
• 代理人：
• PCT申请号： 无
• PCT申请日期： 无
• PCT进入国家阶段日： 无
• 生物宝藏信息： 无
• 审查员： 无

摘要：在一些示例性实施方案中，MEMS加速度计包括器件晶片，具有检测质量和附接至基材的多个跟踪锚点。各跟踪锚被构造为：对应于所述基材中的不对称变形偏转，和将对应于所述偏转产生的机械力转移，以使所述检测质量沿着变形方向倾斜。

摘要附图：