基本信息
摘要：本发明公开了一种三轴电容式加速度计，该三轴电容式加速度计包括：基板、可动部件以及多个固定电极；基板表面具有固定锚点；可动部件设置在固定锚点上；可动部件具有第一质量块、第二质量块以及第三质量块；多个固定电极分为第一电极组、第二电极组以及第三电极组；第一电极组用于和第二质量块形成X轴检测电容，以检测沿X轴输入的加速度；第二电极组用于和第一质量块形成Y轴检测电容，以检测沿Y轴输入的加速度；第三电极组用于和第三质量块形成Z轴检测电容，以检测沿Z轴输入的加速度。本发明技术方案通过三个质量块，可以实现直角三维坐标系中X轴、Y轴以及Z轴方向加速度的检测，且通过设置质量块的运动维度，避免了轴交叉耦合的问题。
摘要附图：
