基本信息
摘要：本发明提供一种硅微谐振式加速度计的制备方法，包括：在一玻璃基底表面形成多个金属导线；在一硅片的第一表面形成一第一掩膜；在第一表面形成第二掩膜；刻蚀所述硅片的第一表面，形成一凹槽；去除所述第二掩膜并继续刻蚀所述硅片的第一表面以及凹槽；去除所述第一掩膜，将第一表面键合于所述玻璃基底表面；刻蚀所述硅片的第二表面；在所述硅片的第二表面形成一第三掩膜，包括第一长条结构；形成一第四掩膜，所述第四掩膜包括一第二长条结构；刻蚀所述硅片的第二表面，得到第二振梁及并使得第二振梁悬浮于所述玻璃基底表面；继续刻蚀所述硅片的第二表面，得到第一振梁且不同于所述第二振梁距离所述玻璃基底的高度；去除第三掩膜。
摘要附图：
