基本信息
摘要：本发明公开了一种气体流量测量方法、装置以及控制系统和气体质量流量计、存储介质，包括：获取MEMS传感器采集的第一流量数据和热式流量传感器采集的第二流量数据；如果变化状态为变化慢状态，则基于第二流量数据确定当前气体流量的数据；如果变化状态为变化快状态时，基于第一流量数据和转换系数函数获得当前气体流量的数据；基于第一流量数据和第二流量数据对转换系数函数进行校正处理。本发明的方法、装置以及控制系统和气体质量流量计、存储介质，能够充分利用MEMS传感器快响应的优势；能够保证产品的长期准确性、线性、重复性和特气适用性，并且在校正时数据不会发生突变；提高了对流量的测试精度。
摘要附图：
