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基本信息
摘要:本发明涉及梳齿电容式双轴加速度计,包括有基片,基片上有敏感质量块,所述敏感质量块上分别安装有固定梳齿,所述敏感质量块的每个周边与对应的固定梳齿之间还有可动梳齿,所述敏感质量块的四个边角处还分别连接有四个支撑架,所述四个支撑架沿敏感质量块中心对称,其另一端连接至基片上。本发明体积小,重量轻,可实现高灵敏度、高分辨率的二维加速度测量。
摘要附图: