基本信息
摘要：本发明公开一种SiC基高温微光学加速度计设计方法，属于MOEMS技术领域。本发明通过腔长差设计形成了错位双FP腔结构，实现了交替变换的两路返回信号线性区域叠加的方式，提高了加速度计测量的量程；采用质量块表面镀高温增透膜的方式降低了噪声干扰，从而提高了测量精度；提出了SiC基微光学高温加速度计传感结构的微加工制作工艺，辅以耐高温的光纤与空心对准套管组合结构、耐高温封装设计，实现了加速度计敏感头的耐高温特性；通过SiC基回旋形悬臂梁‑质量块传感结构设计，形成了敏感头极佳的机械响应特性和位移灵敏度。本发明提高了加速度计抗高温等恶劣环境工作能力，同时在测量精度、动态测量范围及小型化等方面性能优异。
摘要附图：
