基本信息
摘要：本发明涉及微电子机械(MEMS)加工领域，尤其涉及一种单片嵌入结构集成硅加速度和压力复合传感器。本发明的目的在于，设计一种单片嵌入结构集成硅加速度和压力复合传感器，并给出一种制造该传感器的典型加工方法。所述复合传感器为一体式设计，所述加速度计包括带力敏电阻的质量块一弹性膜片结构，所述压力计包括带有力敏电阻的压力敏感膜片和密封的预制空腔。所述方法包括如下步骤：应力集中结构加工步骤(可选)；敏感电阻加工步骤；金属引线层加工步骤；加速度计质量块一弹性膜结构加工步骤。本发明将加速度计和压力计设计在同一区域本，节约了芯片面积，在较小面积下实现较高的灵敏度，所制造的传感器同时具有压力计和加速度计功能。
摘要附图：
