基本信息

• 发明名称： 【发明专利】 一种低噪声MEMS加速度计
• 申请日： 1970-08-23
• 申请号/专利号： CN202010259467.3
• 专利权人： 周骏;山永启;王志;王龙峰;雷龙海
• 申请人： 四川知微传感技术有限公司
• 分类号：
• 发明人/设计人： 周骏;山永启;王志;王龙峰;雷龙海
• 公开日/公告日： 1970.08.23
• 优先权号：
• 代理机构：
• 代理人：
• PCT申请号： 无
• PCT申请日期： 无
• PCT进入国家阶段日： 无
• 生物宝藏信息： 无
• 审查员： 无

摘要：本发明公开了一种低噪声MEMS加速度计，本发明的加速度计由结构层和衬底层组成，结构层包括质量块、梁、梳齿组和铆点；其中铆点均固定在衬底上，梳齿组及与之相连的铆点分布在质量块的内部；所述梁一端与质量块连接且梁的另一端与铆点连接，梁及与之相连的铆点分布在质量块的四周；所述梳齿组包括检测梳齿且检测梳齿为变面积梳齿。本发明通过采用变面积梳齿结构，降低阻尼从而减小布朗噪声。

摘要附图：