基本信息
摘要：本发明还提供一种微流体流量计及其制作方法，包括：半导体衬底，具有第一温度传感器、第二温度传感器、加热单元及信号处理电路，其中，第一温度传感器与第二温度传感器设置于加热单元两侧；微通道，通过第一温度传感器、加热单元及第二温度传感器；以及空腔，形成于半导体衬底背面且与加热单元位置对应。本发明可以实现微流控系统的微流体流量的片上检测，实现传感器、信号处理电路以及微流道的全集成设计，增加了微流控芯片的集成度。本发明的微流体流量计可以完成微流道流体流向和流速的测量，空腔可以防止热量通过硅衬底流失，增加流速检测的灵敏度。本发明采用共模负反馈的电路结构设计增加传感器的一致性，并降低噪声。
摘要附图：
