基本信息
摘要:本公开涉及低噪声多轴加速度计及相关方法。本公开描述微机电系统(MEMS)加速度计。MEMS加速度计可以包括共同形成一个检验质量块的多个检验质量块部分。整个检验质量块可有助于检测平面内加速度和平面外加速度。MEMS加速度计可以以差分方式检测平面内和平面外加速度。响应于平面外加速度,一些MEMS加速度计可以经历蝴蝶模式,其中一个检验质量块部分相对于轴逆时针旋转,而同时另一个检验质量块部分相对于同一轴顺时针旋转。响应于平面内加速度,检验质量块部分可以经历共同的移动模式,其中检验质量块部分沿着相同方向在平面中移动。
摘要附图: