基本信息
摘要：一种微机电系统技术领域的挠性立柱跷板式双层结构微加速度计。本发明包括检测质量块和定子。定子上分布左一号挠性支撑梁、左二号挠性支撑梁、左三号挠性支撑梁、右一号挠性支撑梁、右二号挠性支撑梁、右三号挠性支撑梁，这些挠性支撑梁是正方柱体，呈环形分布，检测质量块通过这些挠性支撑梁支撑置于定子之上。本发明采用双层金属结构，通过一体化的微加工工艺制作，结构相对简单，工艺可行，并且利用差分电容法检测加速度信号，根据力平衡原理通过静电反馈实现闭环控制，抗冲击性好，灵敏度高，可广泛用于航空航天、汽车工业、工业自动化及机器人等领域，具有广阔的应用前景。
摘要附图：
