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基本信息
摘要:本申请公开了加速度计及其制作方法。其中,所述加速度计包括结构层,所述结构层包括:边框结构,所述边框结构形成有一容置空间;固支梁,所述固支梁设在所述容置空间中,且所述固支梁的两端分别固定于所述边框结构;质量块,所述质量块设于所述固支梁上;检测电路,所述检测电路设在所述固支梁与所述质量块中的至少一者上,用于基于所述质量块产生的所述作用力而输出至少一轴向加速度对应的电信号。上述方案,能够削弱加速度的交叉耦合干扰。
摘要附图: