基本信息
摘要：本发明公开了一种基于单片集成的高精度、大量程光学NEMS微加速度计，由加速度敏感系统和光学位移测量系统组成，所述加速度敏感系统由单片SOI上的光栅、四个悬臂梁和基底组成；光学位移测量系统包括激光器、光电探测器、上层基底层、支撑和连接部分、处理电路和计算机；其中光栅既作为光学位移测量系统中的光学调制元件，又在加速度敏感系统中充当了质量块的角色；本发明微加速度计利用了单片集成的NEMS加速度敏感系统实现了大动态范围的线性加速度敏感，并利用了衍射光栅的干涉现象和亚波长光栅的伍德异常现象实现了很高的位移测量灵敏度，综合两个系统可以达到高精度、大动态范围的加速度测量。
摘要附图：
