基本信息

• 发明名称： 【发明专利】 双轴集成全解耦硅微谐振式加速度计
• 申请日： 1970-08-22
• 申请号/专利号： CN201110045851.4
• 专利权人： 李宏生;杨波;殷勇;王寿荣;陈卫卫;黄丽斌
• 申请人： 东南大学
• 分类号： G01P15/125
• 发明人/设计人： 李宏生;杨波;殷勇;王寿荣;陈卫卫;黄丽斌
• 公开日/公告日： 1970.08.22
• 优先权号： G01P15/125
• 代理机构：
• 代理人：
• PCT申请号： 无
• PCT申请日期： 无
• PCT进入国家阶段日： 无
• 生物宝藏信息： 无
• 审查员： 无

摘要：本发明公开了一种双轴集成全解耦硅微谐振式加速度计，包括上层微加速度计结构和下层玻璃基座；所述微加速度计结构键合在玻璃基座上；所述玻璃基座上设有信号引线，微加速度计结构上的电极与相应的信号引线连接；所述微加速度计结构由质量块和四个完全相同的谐振器子结构组成。本发明采用频率检测、两检测轴完全解耦、对称布置，结构简单、紧凑、体积小、精度高。

摘要附图：