基本信息
摘要：本发明公开了一种对应力不敏感的自校准硅微谐振式加速度计，为圆片级SOI三层真空封装结构，上层为加速度计的结构盖板，布置信号输入/输出线，加速度计机械结构制作在中间的硅片层上，下层单晶硅为加速度计的衬底。加速度计机械结构由质量块、两个差分谐振器组成。敏感加速度的质量块位于结构的中间，质量块上下两侧连接的活动梳齿，其与上下对称的四个自校准电极连接的固定梳齿形成自校准电容；两个检测加速度的谐振器分别对称布置在质量块的两侧，一端通过应力隔离框架与固定基座连接，另一端通过一级杠杠放大机构与质量块相连。本发明对外界应力不敏感、敏感加速度方向强度大、具有很强的自校准能力。
摘要附图：
