基本信息

• 发明名称： 【发明专利】 流量计算系统和流量计算方法
• 申请日： 1970-08-22
• 申请号/专利号： CN201711283306.2
• 专利权人： 丹尼尔·托马斯·马德;威廉·怀利·怀特
• 申请人： 株式会社堀场STEC
• 分类号： G05D7/06
• 发明人/设计人： 丹尼尔·托马斯·马德;威廉·怀利·怀特
• 公开日/公告日： 1970.08.22
• 优先权号： G05D7/06
• 代理机构：
• 代理人：
• PCT申请号： 无
• PCT申请日期： 无
• PCT进入国家阶段日： 无
• 生物宝藏信息： 无
• 审查员： 无

摘要：本发明提供流量计算系统和流量计算方法，能高精度地校准流体控制设备(MFC)的流量。所述流量计算系统(200)包括：封入有气体的容器(10)；放置容器(10)的重量测量部(20)；以及连接容器(10)和流体控制设备(MFC)并流通气体的气体管道(L1)，在容器(10)放置于重量测量部(20)上的状态下，从容器(10)向流体控制设备(MFC)或者从流体控制设备(MFC)向容器(10)流通气体，根据从重量测量部(20)输出的输出值，计算流体控制设备(MFC)中流通的气体流量，容器(10)和重量测量部(20)配置在被减压了的减压室(40)内。

摘要附图：