基本信息
摘要：一种微机电系统芯片(MEMS芯片)，用于测量压力腔(D)中的压力，该微机电系统芯片包括MEMS衬底(30)和载体衬底(31)，MEMS衬底和载体衬底平面地以彼此叠置方式接合，其中，MEMS芯片(3)设计成棒形并具有带电子机械式测量装置的测量区域(4)，接下来具有套管区域(11)，接下来具有通过线路(8)与测量区域(4)连接的、带触点(16)的接触区域(6)，并且其中，MEMS芯片(3)在套管区域(11)中适用于密封地布置在套管部中。根据本发明，这样地设计电子机械式测量装置，其方式是，MEMS衬底(30)具有形成盲孔的空腔(5)，盲孔的边缘构成MEMS衬底(30)中的膜片(7)并且由压阻元件(2)构成的测量桥(19)布置在该膜片(7)的背离空腔(5)的侧上。MEMS衬底(30)以空腔(5)的面朝载体衬底(31)的侧接合到载体衬底(31)上，使得载体衬底(31)构成膜片(7)下方形成的空腔(5)的底壁(50)。
摘要附图：
