基本信息
摘要：本发明涉及惯性测量技术领域，尤其是涉及一种热膨胀式流体三轴加速度计及其加工方法。该热膨胀式流体三轴加速度计采用方形结构嵌套的检测层，方形结构嵌套包括外方形结构和内方形结构，外方形结构上设置有绝缘子接线柱以及悬置于绝缘子接线柱上的金属电阻桥热敏丝；内方形结构上设置有绝缘子接线柱以及分别悬置于绝缘子接线柱上的金属电阻桥加热丝、金属电阻桥热敏丝，上密封层与下密封层组成密闭腔体，并配合相应的检测和处理信号电路，可实现三轴加速度的同时检测，因此实现了热膨胀式流体加速度计的多自由度测量。另外，该加速度计具有结构简单，制作和装配方便，成本低，功耗低，抗冲击能力强，寿命长的特点。
摘要附图：
