基本信息

• 发明名称： 【发明专利】 半导体加速度传感器
• 申请日： 1970-08-20
• 申请号/专利号： CN97102672.6
• 专利权人： 加藤健二;新荻正隆;齐藤丰
• 申请人： 株式会社精工电子研究开发中心
• 分类号：
• 发明人/设计人： 加藤健二;新荻正隆;齐藤丰
• 公开日/公告日： 1970.08.20
• 优先权号：
• 代理机构：
• 代理人：
• PCT申请号： 无
• PCT申请日期： 无
• PCT进入国家阶段日： 无
• 生物宝藏信息： 无
• 审查员： 无

摘要：将扩散电阻设置在传感器的一个侧面上，从一块半导体晶片制造大量的传感器。采取检测传感器一个侧面上的位移量的措施，以较少的制造步骤，不用蚀刻处理过程，即能得到精确而价廉的传感器。

摘要附图：