基本信息
摘要：一种抗磁性悬浮永磁转子微加速度计，属于微机电技术领域。本发明采用三明治结构形式，由上、下定子和盘形导电永磁转子构成，上、下定子通过其上的三对弧形铜柱形成了转子腔，转子腔的中心为坐标系OXYZ的原点、Z轴为重力方向，导电永磁转子位于这个转子空腔内，上、下定子通过其上的接线铜柱和其上的共晶铅锡焊flip－chip键合实现电气和机械连接。本发明的检测质量块(永磁转子)的稳定悬浮是基于永磁体与永磁体、永磁体与抗磁体相互作用实现的。本发明的信号获取是通过检测差分电容的变化得到，对转子的反馈力和反馈力矩控制是通过对相应电容极板施加的直流控制电压来实现。本发明可以同时检测沿X、Y、Z轴的线加速度以及绕X、Y轴角加速度。
摘要附图：
