基本信息
摘要：本发明公开了一种双电容式微机械加速度传感器及基于该双电容式微机械加速度传感器的温度自补偿系统，双电容式微机械加速度传感器包括两类栅极和两类固定铝电极，分别对应两个输出端，这两个输出端分别与两个差分电容电压转换电路的输入端相连，差分电容电压转换电路的输出端分别和高频载波发生器的输出端与相干解调器的输入端相连，相干解调器的输出端与低通滤波器的输入端相连，低通滤波器的输出端与温度自补偿电路的输入端相连。该系统不需要外加温度传感器来测量加速度传感器的温度，排除了由于温度梯度而造成的温度测量误差对补偿精度的影响，提高了温度补偿精度，同时消除了温度系数的非线性特性对温度补偿结果的影响。
摘要附图：
