基本信息

• 发明名称： 【发明专利】 集成压力传感器的微机电麦克风及电子设备
• 申请日： 1970-08-23
• 申请号/专利号： CN202110519282.6
• 专利权人： 叶菁华
• 申请人： 钰太科技股份有限公司;钰太芯微电子科技（上海）有限公司
• 分类号： G01L1/22
• 发明人/设计人： 叶菁华
• 公开日/公告日： 1970.08.23
• 优先权号： G01L1/22
• 代理机构：
• 代理人：
• PCT申请号： 无
• PCT申请日期： 无
• PCT进入国家阶段日： 无
• 生物宝藏信息： 无
• 审查员： 无

摘要：本发明涉及一种微机电技术领域，尤其涉及一种集成压力传感器的微机电麦克风，包括一声学腔体，所述声学腔体内设置：一换能器，用于捕获声音信号；一专用集成电路芯片，与所述换能器信号连接；一压力传感器，设置于所述专用集成电路芯片上，用于感测应力，所述压力传感器与所述专用集成电路芯片信号连接。本发明通过在微机电麦克风中集成压力传感器，可以实现应力感测，用于电子设备后，可以拓展为应力过载检测、气密性检测、按键开关等多种功能。

摘要附图：