基本信息

• 发明名称： 【发明专利】 用于测量加速度,压力或类似量的微机械的装置以及相应的方法
• 申请日： 1970-08-22
• 申请号/专利号： CN201180050620.0
• 专利权人： A.弗兰克;A.费伊;C.莱嫩巴赫;G.奥布赖恩
• 申请人： 罗伯特·博世有限公司
• 分类号： G01P15/08
• 发明人/设计人： A.弗兰克;A.费伊;C.莱嫩巴赫;G.奥布赖恩
• 公开日/公告日： 1970.08.22
• 优先权号： G01P15/08
• 代理机构：
• 代理人：
• PCT申请号： 无
• PCT申请日期： 无
• PCT进入国家阶段日： 无
• 生物宝藏信息： 无
• 审查员： 无

摘要：本发明涉及一种用于测量加速度，压力或类似量的微机械的装置。它包括具有至少一个固定的电极的衬底，可运动地布置在衬底处的惯性质量，布置在惯性质量处的至少一个接地电极，和用于将惯性质量返回到初始位置的复位机构，其中，固定的电极和接地电极被设计在一个测量平面中，用于测量在该测量平面中的加速度，压力或类似量，和其中，固定的电极和接地电极被设计用于测量垂直于测量平面地作用于惯性质量上的加速度，压力或类似量。本发明也涉及一种相应的方法和一种相应的用途。

摘要附图：